System skaningowego mikroskopu elektronowego

Zakład Badania Metali posiada system skaningowego mikroskopu elektronowego FEI Inspect S i spektrometru EDS EDAX Genesis 2. Uniwersalny skaningowy mikroskop elektronowy, umożliwiaja generowanie i zbieranie wszelkich możliwych informacji generowanych z próbek materiałów przewodzących lub nieprzewodzących.

Główne elementy i charakterystyki układu optycznego mikroskopu Inspect S:

Napięcie przyspieszające 200 V do 30 kV
Rozdzielczość

Rozdzielczość SE:
- 3.0 nm (separacja ziaren złota na błonce węglowej) przy 30 kV, w obu trybach próżniowych,
- 10 nm przy 3 kV w trybie wysokopróżniowym
- <12 nm przy 3 kV w trybie niskopróżniowym.

Rozdzielczość BSE:
- 4.0 nm (separacja ziaren złota, zwieszonych na błonce węglowej) przy 30 kV, w obu trybach próżniowych

Powiększenie 6x (przy największe odległości roboczej) do >1 000,000x, dla standardowego monitora LCD o przekątnej 19 cali
Standardowe detektory systemowe

System Inspect S wyposażony jest o w detektory niezbędne do detekcji elektronów wtórnych (SE) w całym dostępnym zakresie próżniowym:

- w trybie wysokiej próżni: konwencjonalny detektor SED Everharta-Thornley'a ze zmiennym potencjałem siatki;
- w trybie niskiej próżni: szerokopolowy gazowy detektor LF-SED (trzeciej generacji), montowany nie-osiowo, wyposażony w udoskonalony przedwzmacniacz sygnału;
- Detektor elektronów wstecznie rozproszonych SS BSED
- Analityczny „gazowy” detektor elektronów wstecznie rozproszonych GAD SS BSED
EDS

Detektor Si(Li) przeznaczony do detekcji wszystkich pierwiastków od berylu wzwyż.

Oprogramowanie jakościowej i ilościowej mikroanalizy rentgenowskiej do próbek badanych w skaningowym mikroskopie elektronowym, korzystające z algorytmów korekcji macierzowych ZAF i oferujące następujące możliwości:

- Całkowicie bezwzorcowa analiza ilościowa
- Możliwość uwzględniania współczynników korekcji dla pierwiastków lekkich
- Pełna możliwość analizy ilościowej z wykorzystaniem wzorców czystych pierwiastków, wzorców związków lub wzorców częściowych
- Zaawansowany pakiet oprogramowania do akwizycji i wyświetlania cyfrowych obrazów elektronowych (SE, BSE etc.) i/lub map rentgenowskich rozkładu pierwiastków. Zebrane obrazy mogą być drukowane lub archiwizowane na dyskach. Możliwa jest jednoczesna akwizycja do 36 obrazów, w tym każda kombinacja do 35 map rtg i do 2 obrazów elektronowych.
- Możliwość rejestrowania profili rozkładu pierwiastków wzdłuż linii prostej, przy czym rezultaty są przesyłane do programu arkusza kalkulacyjnego MS-Office Excel i tu dostępne do przeglądania oraz ewentualnej dalszej obróbki. "Skany liniowe" mogą być rejestrowane wzdłuż wybranej linii prostej zorientowanej w jakimkolwiek kierunku i przechodzącej przez jakikolwiek punkt na obrazie.